TG220F
■ 任何方向
■ 緊湊尺寸
■ 節能
■ 快速啟動
■ 快速關閉并用煤氣排氣
■ 耐久結構以適應沖入空氣
※沖入測試（連續400次）
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 安全標準NRTL / SEMI-S2 / CE
應用
■ 半導體生產
■ 電子槍排氣，電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理，表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、測試設備
■ 燈具生產，光學元件生產
■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研發
*如果消耗腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M或TG系列。
| 進氣法蘭 | VG100 ISO-R100 CF100 | |
| 流量 | N2（L/s） | 220 |
| N2（帶防護屏障） （L/s） | 210 | |
| H2（L/s） | 100 | |
| *壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×102 | |
| 基壓 | （賓夕法尼亞州） （托爾） | <1×10-6 <7.5×10-9 |
| *吞吐量※1 | （SCCM） | 400 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 1-1.2 |
| 停工時間 | （分鐘） | 2.5-3.5 |
| *背壓 | （帕/托爾） | 260/2 |
| 的倒吸 真空泵 | （L/min） | ≧80 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF（kg） | 5.5/8 |
| 控制器 | TC223 | |
*1：使用160L/min的后備真空泵時。
[使用環境溫度]
確保達到*終壓力的環境溫度范圍為10-23°C。允許的環境溫度為風冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的*溫度（保證*終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
某些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內部部件。請聯系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。
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京公網安備 11010802023672號
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