TG350F
任何方向
緊湊尺寸
節能
快速啟動
用燃氣排氣快速關閉
用于沖擊氣流的堅固結構
串行通信
（RS232C 串行接口）
安全標準NRTL / SEMI-S2 / CE
應用
半導體生產
電子槍排氣，電離源排氣
FPD制造
表面處理，表面改性
各種電子元件的制造
分析與測試設備
燈具生產，光學元件生產
加速裝置、輻射設施、核聚變研究
熱處理
研究與開發
*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M系列或TG系列。
| 進氣法蘭 | VG100 ISO-R100 CF100 | |
| 流量 | VG/ISO-R·CF N2（L/s） | 350/330 |
| VG/ISO-R·CF N2 （帶防護屏障） （L/s） | 330/310 | |
| VG/ISO-R·CF H2（L/s） | 210/210 | |
| *壓縮 比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 基壓 | （帕/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| *吞吐量※1 | （SCCM） | 500 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 2-2.5 |
| 停工時間 | （分鐘） | 5-6.5 |
| *背 壓 | （帕/托爾） | 260/2 |
的倒吸 真空泵 | （L/min） | ≧80 |
| 位置 | 任何方向 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF（kg） | 6/9 |
| 控制器 | TC353 | |
*1：使用160升/分鐘的后備真空泵時。
[環境溫度使用]
確保達到*壓力的環境溫度范圍是10-23°C。允許的環境溫度為風冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的*溫度（保證*終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內部部件。請聯系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。
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京公網安備 11010802023672號
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