TG1100F
■ 任何方向
■ 緊湊尺寸
■ 節能
■ 快速啟動
■ 快速關閉并用煤氣排氣
■ 耐久的氣流沖擊結構
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 安全標準NRTL / SEMI-S2 / CE
應用
■ 半導體生產
■ 電子槍排氣，電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理，表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、測試設備
■ 燈具生產，光學元件生產
■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研發
*如果排放腐蝕性氣體，請選擇我們的化學用途TG-M系列或TG系列。
| 型 | TG1100F | TG1100F*A*-60 TG1100F*W* | |
| 進氣法蘭 | VG200 ISO-B200 CF200 | ||
| 流量 | N2（L/s） | 1100 | |
| N2 （帶防護 屏障）（L/s） | 1000 | ||
| H2（L/s） | 720 | ||
| *壓縮 比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 基壓 | （帕/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| * 吞吐量※1※2 | （SCCM） | 330 | 860 |
| 啟動時間※2 | （分鐘） | 7-9 | 5.5-7 |
| 停工時間※2 | （分鐘） | 27-32 | 12-15 |
| *背 壓 | （帕/托爾） | 330/2.5 | |
的倒吸 真空泵 | （L/min） | ≧250 | |
| 位置 | 任何供詞 | ||
| 重量 | VG?ISO-R/CF（kg） | 28/27 | |
| 控制器 | TC1104 | TC1103※3 | |
*1 ：使用500升/分鐘的備用真空泵時。
*2：根據電源型號不同。（標準：TC1104）
*3：如果是風冷的，風冷風扇必須更換。（TG1100F***-60）
[環境溫度使用]
確保達到*壓力的環境溫度范圍是10-23°C。允許的環境溫度為風冷類型為10-32°C，水冷類型為10-40°C。冷卻水的*溫度（保證*終壓力）為30°C，冷卻水允許的溫度范圍為10-35°C。
[對應氣體]
一些服務氣體會腐蝕潤滑脂和內部部件。請聯系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。
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京公網安備 11010802023672號
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