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日本ULVAC愛發科 HR600 物理氣相沉積羅茨式干式真空泵

發布時間:2025/12/23 17:24:31 發布廠商:深圳市京都玉崎電子有限公司 >> 進入該公司展臺

日本愛發科(ULVAC)的真空泵類型及用途如下:

一、主要類型

?羅茨真空泵?

代表型號:NB 100A

特點:腔體無潤滑油,適用于水蒸氣、溶劑等氣體;高吸入壓強下可穩定運轉?

?油旋片式真空泵?

代表型號:GLD-N202

特點:低震動、低噪音,適合半導體鍍膜等精密工業場景?

?膜片干式真空泵?

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代表型號:DAU-20D

特點:高真空度(0.67Pa),適用于高真空環境?

?螺桿式干式真空泵?

代表型號:MS1200A/LS1200A

特點:防腐蝕設計,適合化學腐蝕性氣體處理?

?兩級排氣真空泵?

代表型號:GLD-040

特點:壓力更低(真空度好),具備防回流機制和穩定排氣速度?

二、用途

?半導體與電子制造?:鍍膜、濺射、液晶注入等工藝?

?真空熱處理?:燒結爐、釬焊爐等高溫環境?

?干燥與脫氣?:冷凍干燥、真空脫氣等工業流程?

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?分析儀器與檢漏?:CO?激光設備、檢漏設備等精密場景?

?實驗室與科研?:高真空實驗、設備內部結構檢測等?

玉崎供貨ULVAC愛發科 螺桿式干泵 DIS-251

半導體與電子?:

服務于真空鍍膜、濺射、離子鍍及氣體置換等精密工藝。

支持晶圓制造中原子級真空環境控制,提升芯片良品率。

?塑料與包裝?:

用于擠出機除氣、EPS發泡及真空成型工藝36。

實現真空包裝、吸附搬運及真空鑄造,降低氧化污染風險。

三、?醫藥與食品?

?制藥行業?:

支撐真空干燥(冷凍干燥、反應堆干燥)、蒸餾及晶化/汽化過程。

應用于滅菌設備真空系統及生物制藥中的無菌工藝控制。

?食品加工?:

用于礦泉水除氣、真空脫氣及生鮮真空包裝,延長保鮮周期。

配合冷鏈體系減少食品損耗,菌落數顯著下降。

四、?其他高精尖領域?

?航空航天與核能?:用于真空隔熱、分子蒸餾及核能源工藝中的無泄露氣體傳輸。

?環保與科研?:支持燃料電池開發、溶劑回收及特殊環境下的精密實驗控制。

?技術特性?:

采用低噪音設計、強制供油方式,適應全壓強領域連續運轉;

維護便捷,油量調節與更換流程優化,適配高溫、粉塵等嚴苛環境


干式真空泵
真空泵
ULVAC愛發科
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