濕度的測量方法大概可分為四種，毛發濕度測量計，干濕球溫度計，露點鏡，和容性濕度傳感器。氧化鋯氧量分析儀來分別介紹一下： 
首先是毛發濕度測量計，毛發濕度計是測量濕度的方法，毛發的長度會隨著所處的環境的濕度而變化。這種變化在機械意義上指為相對濕度。它的優點在于使用簡單，測量工程裝置安裝成本低，應用成本相對來說也比較低。缺點在于維護費用較高，需要頻繁的對毛發長度進行還原，*相對濕度測量范圍只為15%致85%RH，*的溫度只為50°。高誤差，不明確。測量速度慢。 
其次是干濕球溫度計，一個包裹著濕棉球的溫度探頭因蒸發致冷的作用，而冷下來，第二個溫度探頭測量環境溫度。從兩個溫度的差值即可確定環境的濕度值。這種方法的優點在于操作精度可達2至3RH%，缺點在于不能用于多點測量，操作費時。 
再次是露點鏡，一面鏡子降溫并達到露點時，其表面上出現水凝滴，于是通過監視鏡面上的凝滴即可測得露點。這種辦法的優點在于，測量范圍寬，測量。缺點是費時，費用較高。 
第四是容性濕度傳感器，一個隨環境濕度變化改變電容值的電容器，其優點成本低，反應時間快，測量。測量范圍寬，長時間性能穩定，體積小便于攜帶。缺點是以前，被認為是不可靠，不穩定的，現在電容性傳感器在世界性測試中建立了工業測量技術。
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