VE系列靜電容量式微小位移傳感器可高精度測量金屬等導體與傳感器之間距離的非接觸式微小位移，振動傳感器。汽輪機，電動機，壓縮機，機床等機械的轉動軸的軸振動或面的波動測量，移動中物體的厚度，寬度的測量與控制方面是非常有效的測量工具。不僅可以測量位移量，偏曲量，彎曲量等也可以測量或用于相應的控制系統。
非接觸式測量，不會對轉動與振動物體產生負荷影響，由此對于被測物體的振動模態也不會產生任何影響。
共有測量范圍20μm ～ 8 mm 的10種類型的傳感器。被測對象為金屬導體時，材質不同也不需要進行再校準處理即可測量
VE系列靜電容量式微小位移傳感器可與VT-5200/5700系列位移計或CL-5610系列厚度計配套使用。

特長

不受被測物的顏色，表面粗燥度，反射率以及環境光線的影響。
非接觸測量，對被測物體沒有影響。
傳感器結構簡單經久耐用，適用范圍廣。
測量對象為導體時，材質不同也不需要進行再校準處理即可測量
（金屬以外硅，碳化復合物，水面等也可測量

構成
＊ VE系列靜電容量式微小位移傳感器可與VT-5200/5700系列非接觸靜電容量式位移計或CL-5610系列非接觸靜電容量式厚度計配套使用。測量對象與測量精度請參閱各產品的說明頁面。

＊ 使用VE系列傳感器時，為了補償配套儀器的個體偏差，傳感器與配套儀器（位移計或厚度計）需要1對1進行校準匹配，要變更交換使用其他傳感器時（包括同型號）也要進行再校準。

測量對象

測量對象如是導體即可測量，例如以下材質物品。
■金屬板  鐵，鋁，鋼等。
■硅片  與金屬同樣測量。
■銅箔基板  可以測量蝕刻處理前的兩面銅箔基板的厚度。
■膏狀物體  高溫燒成處理前的電池極板等膏狀物體。
■碳化材料板  各種碳化材料板狀物。
　

測量時的注意事項

■耐熱絕緣鋁材  經陽極氧化處理的耐熱絕緣鋁板，表面為絕緣膜測量會發生不穩定現象。
■表面涂裝材料  表面使用絕緣物進行涂裝處理的材料，測量結果含有誤差。
■圓形物體  VE系列傳感器是以測量平面物為前提的傳感器，測量曲面時會產生誤差。
■表面粗燥物  表面粗燥物的測量結果，比較使用接觸式測量的結果要小一些。使VE系列傳感器測量結果等同于將表面的凹凸進行了平均，如果表面非常粗燥，有可能不能測量。
■多孔狀物體  如果被測物為多孔狀物體，根據孔分布率測量結果小于實際數據。　

絕緣體的測量

測量對象為絕緣體時，CL-5610系列非接觸靜電容量式厚度計配套CL-0300絕緣體測量軟件（選配），可高精度測量絕緣體（玻璃，藍寶石，水晶，塑料，塑料膜等）的厚度。

簡要規格

■ 標準型
   　     
型號 VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020
測量范圍（μm）※00 150 ～ 1500 300 ～ 3000 800 ～ 8000
外形（mm）※2 φ6 φ8 φ10 φ20 φ40
電纜長度  1.5m（電纜一體型）  信號電纜VL-1520/1521 1.5m （另購）
溫度系數  k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5
使用溫度范圍※3  0 ～ +80 ℃

■ φ10mm通用基柱配套型

　     　   
型號 VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-3021
  VE-8021
測量范圍（μm）※1 20 ～ 200 50 ～ 500 100 ～ 1000 300 ～ 3000 800 ～ 8000
外形（mm）※2 φ3 φ6 φ8 φ20 φ40
電纜長度  信號電纜VL-1520/1521 1.5m （另購）
溫度系數  k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5
使用溫度范圍※3  0 ～ +80 ℃
※1 測量范圍指傳感器的測量面到被測物的大間距。
※2 被測物的被測面積必須大于傳感器的測量面的面積。
※3 使用溫度范圍指傳感器可以測量使用的溫度范圍，不是確保傳感器的直線性狀態的溫度范圍。
   確保傳感器的直線性狀態的溫度范圍＋23 ℃±2 ℃。VE系列的溫度特性請參閱[ VE傳感器溫度特性 ]的說明

配套信號電纜（另購）

VL-1520（兩端直型接頭，電纜長度1.5 ｍ） 
VL-1521（L型接頭 - 直型接頭，電纜長度1.5 ｍ） 
　
VE傳感器溫度特性
ΔＤ≒ −(K1×l + K2×D) Δt

K1 ： 傳感器殼體材料的線膨脹率（1.7×10-5）
K2 ： 傳感器電極材料的面膨脹率（3.4×10-5）
Δt ：溫度變化
D ：測量間距
ΔＤ ：測量值變化