微波無極紫外線燈主要由驅動電源，磁控管，微波波導，諧振腔，燈管，屏蔽網組成，磁控管就是一個微波源，他將驅動電源提供的電能轉化為微波能，由微波天線輸出，經過波導輸出到電磁諧振箱（一般的金屬箱體常規的鐵箱，不銹鋼箱，鋁箱等）諧振箱內的微波由于反射和折射將充滿整個箱體，也就是整個箱體內是一個高能量微波區域，位于此區域的無極燈管中的惰性氣體會發生電離激發出140nm---400nm波長的紫外光。