LINTEC琳得科   加熱器   高溫?zé)峤粨Q器  MC-3000L-TC

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質(zhì)量流控制器后階段的氣體加熱
在半導(dǎo)體制造過程中，它不僅需要加熱氣體，而且還需要加熱流動控制的氣體。因此，由于流速由燃?xì)饧訜崞鞒跫墏?cè)面的質(zhì)量流控制器控制，因此需要低壓加熱器（次要側(cè)）。質(zhì)量流控制器制造商（LINTECH）的燃?xì)饧訜崞鳎℉X）具有低壓力損失結(jié)構(gòu)

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