干式真空泵通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接壓縮和排出氣體，無需液體介質(zhì)，避免油污染問題。其核心結(jié)構(gòu)類型包括：

EBARA荏原螺桿式雙螺桿結(jié)構(gòu)：一對(duì)等速反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子，通過阿基米德螺旋線與擺線輪廓設(shè)計(jì)形成密閉腔體，實(shí)現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入與排出?13。

間隙控制：螺桿與泵腔保持微米級(jí)間隙，減少摩擦損耗，支持高轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)（可達(dá)6000 rpm），提升抽氣效率。

?多級(jí)羅茨式??多級(jí)串聯(lián)設(shè)計(jì)?：采用多級(jí)羅茨葉片轉(zhuǎn)子，通過逐級(jí)壓縮提高極限真空度（可達(dá)10?2 Pa），適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環(huán)境?56。

?無接觸嚙合?：轉(zhuǎn)子間無物理接觸，通過同步齒輪驅(qū)動(dòng)，降低磨損并延長(zhǎng)使用壽命。

渦旋式動(dòng)靜渦旋盤嚙合：通過漸開線型渦旋盤形成連續(xù)壓縮腔，實(shí)現(xiàn)無油、低振動(dòng)運(yùn)行，極限真空度達(dá)10?1 Pa，適用于實(shí)驗(yàn)室和小型設(shè)備。