EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT350F

EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT350F

渦輪分子泵應用領域

半導體制造：在半導體生產過程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環境。

科學研究：在粒子加速器、核聚變實驗、表面物理和材料科學等領域，渦輪分子泵用于實現高真空環境。

航空航天：用于模擬太空環境，測試航天器部件在真空條件下的性能。

光學鍍膜：在光學鏡片、濾光片和激光元件的鍍膜工藝中，渦輪分子泵提供無污染的真空條件。

分析儀器：用于質譜儀、電子顯微鏡和同步輻射裝置等精密儀器中，確保高真空環境的穩定性。

醫療設備：在放射性同位素生產和醫療成像設備中，渦輪分子泵用于維持高真空環境。

渦輪分子泵優點

高真空性能：渦輪分子泵能夠實現高真空（10^-10 Pa級別），滿足高精度工藝和科學實驗的需求。

無油污染：由于無需油液潤滑，渦輪分子泵特別適合對潔凈度要求極高的行業，如半導體和光學鍍膜。

高效抽氣：對輕質氣體和中質氣體具有較高的抽氣速度，能夠快速建立并維持真空環境。

長壽命和低維護：渦輪分子泵的結構設計精密，運行穩定，維護成本低，使用壽命長。

環保節能：無油運行減少了油類廢棄物的產生，符合環保要求；同時，現代渦輪分子泵采用高效電機和變頻控制技術，進一步降低了能耗。

適應性強：能夠處理多種氣體，包括腐蝕性氣體和易凝結氣體，適用范圍廣泛。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工業設備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術積淀，荏原以“為地球環境和社會基礎設施提供創新解決方案”為使命，業務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環保設備及能源系統等領域，產品以高可靠性、節能性和*技術聞名全球。
核心業務與技術優勢
荏原的核心產品包括：
流體機械：全球*的水泵及系統解決方案，廣泛應用于市政供水、工業循環、污水處理等領域，其高效節能設計顯著降低碳排放。
環境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環保技術，助力可持續發展。
能源設備：蒸汽輪機、燃氣壓縮機等產品服務于石油、化工及新能源產業。
半導體制造設備：高純度真空泵等產品支撐電子行業精密制造