層流凈化電子廠廠房潔凈度檢測內容和方法--天津中達檢測濟南分公司   電子制造業廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等按需要進行控制。潔凈室的照度和截面風速按設計或規范控制。另外，這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴格的。其中，對濕度的要求更為嚴格。因為在過于干燥的廠房內容易產生靜電，會損壞CMOS集成度。

因為凈化工程的檢測主要關注兩種粒徑，即0.5um和5um。等速采樣對≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度，如果這些粒子不受等速條件的影響，則計算結果不受影響。因此潔凈室區域非等速采樣只對大于等于0.5um的顆粒有意義。

電子廠廠房潔凈度檢測  千級無塵車間的潔凈度標準是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200（pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3)；百級車間的潔凈度標準是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下。可以看出潔凈度等級越高的車間，標準也更高，要求車間內的塵埃粒子數量更少，這樣無塵車間才能更潔凈。

10萬級室內空氣參數需求： 1.新風量大。由于這類車間內，人員比較多，能夠依據以下數值應取下列的*值：非單向流潔凈室送風量的10-30%;補償室內排風和堅持室內正壓值所需的新鮮空氣量；確保室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3 /h。

十萬級車間的潔凈度標準是大或等于0.5微米的粒子數不得過3500000個，大或等于5微米的粒子數不得過20000個；萬級車間的潔凈度標準是直徑大于等于0.5μ的塵粒數不能過350000個，直徑大于5μ的塵粒數不能過2000個；  在電子潔凈廠房高能效過濾器的應用上，電子凈化工程嚴格依照規定在潔凈度10萬級或高于10萬級以上的空氣凈化處理，應采用初效、中效、高能效過濾器的三個等級過濾。而我們在某潔凈工程驗證過程中，某電子潔凈廠房工程在萬級的凈化級別上，采用亞高能效空氣過濾器代替高能效空氣過濾器，造成了潔凈度不合格，*終更換了高能效過濾器，才符合需要達到的標準。

電子廠廠房潔凈度檢測  電子凈化廠注意要點：防止灰塵、防靜電、防止負壓；集成電路生產（分為光掩膜、前道工序、后道工序），顯示器生產（分為LCD，PDP,TFT,VFD,顯像管），硅材料 生產（單晶硅、多晶硅），光纖生產，制卡業，表面貼裝（SMT），分離器件生產（功率一、二、三級管，電容、電阻），整機組裝生產（機頂盒、數字投影儀、電子數碼相機），自控元器件生產（傳感器、執行機構）等。微電子工業是當前對潔凈室要求較高工業潔凈業-如現代工業中的液晶、光纖等的生產，同樣均有潔凈度的要求。

10萬級無塵室主要采用的送風方式： 1.局部孔板頂棚送風； 2.帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風； 3.上側墻送風等三種送風方式。10萬級無塵室主要采用的回風方式： 1.單側墻下部布置回風口； 2.當采用過道回風時，在過道內均勻布置回風口或在過道端部集中設置回風口。

天津中達檢測有限公司濟南分公司是一家的第三方潔凈室（潔凈度）檢驗檢測機構，(snjjhjjc)獲得了山東省質量技術局頒發的檢驗檢測機構證書（CMA）為客戶提供的潔凈室、潔凈廠房、潔凈區、潔凈車間等驗收檢驗檢測技術服務，出具第三方潔凈工程（項目）竣工驗收檢測資質、日常潔凈監測。