ULVAC愛發科 機械增壓泵 MBS-053

ULVAC愛發科 機械增壓泵 MBS-053

機械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。

通過與油旋轉真空泵或干泵等粗抽泵組合使用，在粗抽泵抽速下降的壓力范圍內，可以顯著提高粗抽泵的抽速。

應用于半導體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞測試、太空探測、真空浸漬、真空干燥等眾多領域。

通用型機械式增壓泵

羅茨型 / 有效排氣速度顯示 / 具有各種保護功能

長處

這是一種小型羅茨型真空泵。

在輔助泵抽速降低的壓力范圍內，可以顯著提高抽速。

通過采用直流無刷電機，它可以從大氣壓中排出真空，因為它根據負載以*轉速運行。

磁耦合結構確保油不會泄漏到泵外部。

泵內部的密封采用非接觸式密封，大大減少了機械損失。

（與以前的型號相比，功耗降低了約 60%）

通過切換驅動器盒內的電源，可以在 100V 和 200V 系統下運行。

規范

用法說明

1機械增壓泵不能單獨使用。 請務必將其與輔助泵組合使用。

2機械增壓泵專為在線使用而設計。

將法蘭固定在排放側，并將泵安裝在該法蘭上。

3如果長時間未運行，在初次運行中，潤滑油在啟動時會起泡，因此請使用輔助泵排氣進行脫氣。

4在大氣壓附近運行與輔助泵的抽速大致相同，因此增壓泵的特性不顯現。

5當潤滑油量過規定量時，油會進入轉子室內部。

6請務必檢查電源電壓是否與泵的設定電壓相匹配。

7它沒有配備用于安裝泵的底座。 法蘭是固定的。

8它沒有配備用于攜帶泵的手柄。

9電源線和應力消除裝置是可選的。

10消耗品需要定期維護。