ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U8HSP

ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U8HSP

低溫泵是一種伸縮式真空泵，旨在實現從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內部的低溫表面上，并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。

此外，值得注意的是，低溫泵盡管使用吸附方式，但與其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環境的各個行業和研究部門。

在考慮安裝低溫泵時，其高性能和提供清潔真空環境的能力是一大優勢。

長處

非常適合濺射工藝。

氬氣的排量約為傳統型號 （U8H） 的 2.5 倍。

氫氣的抽速約為傳統型號 （U8H） 的 1.2 倍。

再生間隔更長，有助于提高設備的運轉率。

可進行多次作（*多 3 臺）。

隔膜式干式真空泵

DTC-22

DTC-22A

DTC-22B

DTC-22C

DTC-41

DTC-41C

DTC-41D

DTC-41E

DTC-41F

DTC-22K

DTC-60

DTC-41K

DTC-41KC

DTC-41KD

DTC-41KE

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DTC-120

DTC-120D

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規范

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。