ULVAC愛發科 油式旋轉真空泵 GLS-051

ULVAC愛發科 油式旋轉真空泵 GLS-051

油旋轉真空泵是一種容積式真空泵，它使用油來減少轉子、定子和滑動葉片等部件之間的機密和不可用空間。 它也被稱為旋轉泵。

油旋轉真空泵通過使用真空泵油使旋轉部件的運動平穩，并通過真空密封提高氣密性，從而實現高排氣性能。 此外，它是*效的泵類型，可以在大氣壓到高真空范圍內有效運行，是一種高度可靠的泵，可提供穩定的泵送性能。

它是一種使用潤滑油的旋片式真空泵。 它是一種高性能、低噪音和可靠的真空泵。

長處

單級排氣系統比兩級排氣系統便宜。

低噪音、低振動。

防止回流機構在因停電而停止真空室時抑制油回流到真空室中。

通過安裝強制潤滑機構來穩定抽速。

它可以在大氣壓下運行。

由于內部零件通過敲擊銷和法蘭電機連接，易于維護。

規范

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。